Dottorato in Fisica , 16o ciclo (2001-2003) Dottorato concluso nel 2004 Tutori: Candido Pirri Pubblicazioni Pubblicazioni durante il dottorato Vedi tutte le pubblicazioni su Porto@Iris Ricciardi, C.; Bennici, E.; Cocuzza, M.; Mandracci, P.; Bich, D.; Guglielmetti, V.; ... (2003)Characterization of polycrystalline SiC layers grown by ECR-PECVD for micro-electro-mechanical systems. In: THIN SOLID FILMS, vol. 427, pp. 187-190. ISSN 0040-6090 Contributo su Rivista